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中集安瑞科成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱
作者:官方 來源:中集安瑞科 所屬欄目:企業(yè)風(fēng)采 發(fā)布時(shí)間:2023-04-12 22:10
[ 導(dǎo)讀 ]近日,中集安瑞科旗下石家莊安瑞科氣體機(jī)械有限公司成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱,標(biāo)志著我國電子氣體儲運(yùn)裝備...

近日,中集安瑞科旗下石家莊安瑞科氣體機(jī)械有限公司(以下簡稱“石家莊安瑞科”)成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱,標(biāo)志著我國電子氣體儲運(yùn)裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)新的突破。

磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱

據(jù)了解,該管束式集裝箱由中集安瑞科自主研發(fā),是一種專用于批量儲運(yùn)磷烷與氫氣混合氣的特種設(shè)備。在半導(dǎo)體制備工藝中,需要經(jīng)常采用一定濃度的磷烷和氫氣混合氣體(屬于電子氣體的一種),目前市面上這類氣體儲運(yùn)主要采用高純度高壓氣瓶(Y-ton氣瓶)、小氣瓶,而此次交付的管束式集裝箱可儲氣13m3,單次運(yùn)輸?shù)膬饬康韧?00個(gè)小氣瓶的儲氣量,大幅降低氣體公司的運(yùn)營成本,滿足半導(dǎo)體行業(yè)大量用氣的需求。

同時(shí),由于磷烷與氫氣的混合氣極易燃燒、具有強(qiáng)毒性,該裝備在設(shè)計(jì)上做到“零泄露”,在管路與閥門之間完全采用軌道焊接,極大地提高了產(chǎn)品的安全性。

石家莊安瑞科作為國內(nèi)規(guī)模最大的電子氣體儲運(yùn)裝備供應(yīng)商,多年來在磷烷與氫氣混合氣儲運(yùn)裝備上深入研究,已經(jīng)掌握關(guān)鍵的核心技術(shù),此次推出大容積管束式集裝箱將進(jìn)一步推動半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,為中國實(shí)現(xiàn)“芯片強(qiáng)國”貢獻(xiàn)力量。

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